Wafer production
Increase yield while ensuring the highest quality and process reliability, even in ongoing wafer production.
Our inline optical inspection systems reliably detect defects on the surface, at the edge and inside the bulk wafer material to significantly increase your production capacity. Save costs by removing defective material before it reaches the next stage of the production process.
Post-Grinding / Pre-Polishing Inspection
CMP eliminates micro peaks and valleys.
However, microcracks in the bulk wafer material or at the wafer edge can lead to wafer breakage during polishing or other downstream processes, resulting in high costs. Defective wafers must be rejected in time to avoid expensive cleaning and extended machine downtime.
Benefits
- Increased uptime: Microcrack detection minimizes wafer breakage during the polishing process
- Flexibility: Seamless integration into existing process lines
- Efficiency: Simultaneous scanning of bulk and surface at line speeds of up to 180 wafers/hour
- Features
- Typical defects
- Technical data
- Defect detection down to <5 ?m crack width
- Wafer mapping / 2D coordination map
- Inspection of the wafer edge from three perspectives
- Scan speed: Up to 130°/sec
- Optional notch inspection
- Chippings
- Micro-cracks
- Etch residuals
- Scratches on the front and rear side
- Crystal defects (twin-lamella)
- High-resolution line scan cameras with LED line illumination using different wavelengths
- Integrated adjustment of thresholds and crack characteristics for sensitive optimization of the detection result
- Typ. resolution: 20 μm, optional down to 1,5 μm
- Optical Setup for edge inspection: 2 × 45° prisms & direct side view for 3-sided image acquired
- Semi standard interface
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Final Quality / End-of-line Inspection
Improve production yields with 100% in-line inspection, even at high inspection speeds. Using patented MultiView technology, our systems reliably identify and classify macro defects, handling scratches or etch residues. This allows defective wafers to be removed from the process at an early stage.
Benefits
- Continuous and complete process control
- Defect detection in a wide range of coating and lamination techniques
- Defects detection on both sides of the web
- Checking of register accuracy
- Features
- Typical defects
- Technical data
- Defect detection on wafer surfaces and wafer edges
- Rear side inspection (non-functional side)
- Front side inspection for GaAs (relaxed requirements)
- Automatic defect classification
- Optional notch inspection
- Scratches on the front and rear side
- Etch pits (?round“ polished) on the front side
- Etch defects esp. on the rear side
- Etch residuals
- Edge chippings
- High-resolution line scan cameras
- Highest throughput 50 -100 wph (appl. dep.)
- MultiView technology with adapted wavelength and resolution
- Pixel resolution: typ. 3 μm/px
- Semi standard interface
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SpecGAGE3D ensures wafer planarity
Wafer planarity is essential for perfect assembly. SpecGAGE3D is a compact solution for efficient quality inspection of reflective surfaces. Using deflectometry, height deviations, and defects are reliably detected in a single measurement.
The measurement data is compared to the CAD data, and differences are evaluated within seconds. The system quickly and efficiently determines whether the manufactured wafers are within the required dimensional tolerances. This enables users to minimize production waste while optimizing processes and machine settings.
Integrated into fully automated production lines, SpecGAGE3D permanently improves the process and reduces production costs.
Benefits
- Detects defects on the front and back side of the web
- Reliable checking of register accuracy
- Continuous and seamless process control
- Features
- Typical defects
- Technical data
- Precise height measurement on reflective surfaces for wafer shape inspection
- High detection rate with extremely low slope variations
- Evaluation according to shape and surface defects
- Shape deviations
- Waviness
- Scratches, inclusions, dots
- Measuring principle: Phase measuring deflectometry
- Measuring fields: 300x200 - 600×400 mm?
- Lateral resolution: ~ 20-240 ?m
- Accuracy elevation map: +/- 10 μm on 10×10 cm?
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SpecGAGE3D [EN]
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Production Analytics
Die webbasierte Production Analytics Plattform erm?glicht es Ihnen, den Systemstatus aller Produktionslinien auf einen Blick zu überprüfen oder Produktionsdaten im Detail zu analysieren.
Mit dem Qualit?tsmanagementsystem analysieren Sie historische Daten, überwachen aktuelle Prüfdaten in Echtzeit und ermitteln zukünftige Trends in Ihrem Produktionsprozess.
Optimierung der Produktion
?ber Dashboards k?nnen Sie die Daten der Produktionslinie und des Produkts vor Ort oder von unterwegs aus vergleichen und erhalten so wichtige Erkenntnisse für die Optimierung. So treffen Sie fundierte Entscheidungen entlang Ihrer Wertsch?pfungskette, um die Produktqualit?t und die Rentabilit?t zu steigern. Die Fortschritte der Optimierungsma?nahmen k?nnen Sie kontinuierlich verfolgen und mit visualisierten, erweiterten Berichten darstellen.
Frühzeitiges Erkennen von Produktionsfehlern
Grenzwertüberschreitungen k?nnen Sie in jedem Produktionsschritt, mithilfe von Live-Statusinformationen und automatischen Warnmeldungen schnell erkennen und deren Ursache finden. Damit l?sen Sie Produktionsfehler schnell, verkürzen Ausfallzeiten und senken die Produktionskosten.
Vorausschauende Wartung
Potenzielle Anlagenausf?lle k?nnen Sie durch die Analyse von Echtzeitdaten aus den Sensoren und ?berwachungssystemen verhindern. Dies erm?glicht eine proaktive Planung der Wartung, die auf dem tats?chlichen Zustand der Maschinen basiert, anstatt einem festen Zeitplan zu folgen. Dieser datengestützte Ansatz spart Kosten durch geringere Ausfallzeiten und erh?ht die Gesamtproduktivit?t sowie die Lebensdauer der Produktionslinie.
Ihre Vorteile
- Zeitsparende mehrzeilige ?bersichten, eine Ansicht für alle qualit?tsbezogenen Informationen
- Minimierung von Ausfallzeiten durch ?berwachung der Systemzustandsdaten
- Schnellere Reaktion auf Qualit?tsprobleme durch ?berwachung der Qualit?tsdaten
- Schnelle Beseitigung von Produktionsfehlern, Reduzierung der Produktionskosten
- Verbesserte Wartung für geringere Ausfallzeiten, h?here Gesamtproduktivit?t und l?ngere Lebensdauer der Produktionslinie
Funktionen
- ?berblick über Produktionsdaten und Anlagenstatus
- Webbasierte L?sung, keine Installation von Client-Software erforderlich
- Abteilungsbezogene Dashboards, kundenspezifische Anpassungen sind m?glich
- Live-Einblicke aus Echtzeitdaten
- Offen für die Integration relevanter Drittdaten und den Export von Daten in die Systeme des Kunden
- Schwellenwertüberwachung und Alarmierung
Servicel?sungen und Schulungen
Für den effizienten und zukunftssicheren Betrieb Ihrer Produktionsanlagen unterstützen Sie unsere hochqualifizierten Serviceteams weltweit in allen Belangen. Wir übernehmen die Implementierung, Wartung und Instandhaltung sowie die Analyse und Optimierung Ihrer Anlagen.
Lernen Sie in der www-tyc234cc(股份)有限公司 Academy, wie unsere kompetenten Trainer Ihre Mitarbeiter immer auf dem neuesten Stand des Wissens halten, damit Anlagenbediener, Produktingenieure und Qualit?tsmanager zu echten Inspektions-Experten werden.
