Zuverl?ssige Partikelz?hlung zur ?berwachung der Reinraumqualit?t
FPM-Particle prüft dünne Glassubstrate mit hoher Pr?zision und liefert eine statistische Analyse der Partikelverteilung. Mit hochaufl?senden Kameras und spezieller Beleuchtungstechnik erkennt das System Partikel bis in den Mikrometerbereich und klassifiziert sie nach Gr??e. Damit liefert es zuverl?ssige Daten zur ?berwachung der Reinraumqualit?t und zur Optimierung des Reinigungsprozesses.
Mit den Erweiterungsprodukten FPM-Inspect, FPM-Edge und FPM-Review k?nnen Anwender die Partikelinspektion um eine Oberfl?chen- und Kanteninspektion sowie ein automatisches Mikroskop zur Untersuchung erkannter Fehler erweitern.
- Komplette Produktpalette für die Oberfl?chen- und Kanteninspektion, plus Prüfstation
- Einzelne oder mehrere Sensoren für die Inspektion von Bahnen oder kompletten Substraten
- Extrem kurze Inspektionslinie für dünne Glassubstrate
- > 99,9 % Klassifizierung Oberseite/Unterseite
- Partikelz?hlung im Submikrometerbereich
Downloads
Automotive Overview brochure
Brochure FPM-Master [EN]
- Filename
- brochure-flatpanelmaster-glass-en.pdf
- Gr??e
- 805 KB
- Format
Brochure FPM-Master [CN]
FPM-Master brochure cn
- Filename
- brochure-flatpanelmaster-glass-cn.pdf
- Gr??e
- 902 KB
- Format
Brochure FPM-Master [KO]
FPM-Master brochure ko
- Filename
- brochure-flatpanelmaster-glass-ko.pdf
- Gr??e
- 914 KB
- Format
